東京都世田谷区奥沢6丁目33-3
エクレール自由が丘305
TEL : 03-5760-6845
Visit our English site to English site

企業経営者をサポートするプロ集団[株式会社ジャパンビジネスコンタクトグループ]

分子線エピタキシー用 EDGE リニアシャッター

生産用分子線エピタキシーで最も需要の高い部品がリニアシャッターです。
EDGE リニアシャッターは、CreaTec社のEDGEツールキットに基づき設計されていて、直線運動を滑り摩擦なく実現しています。
このシャッターにはPEEK(Polyether ether ketone)、真鍮、永久磁石など超高真空で問題となる素材やその代用品を一切使用していません。
全体はステンレスのみで作られています。
耐久テストでは、1千万回以上の高速往復運動(2Hz以下のテスト周期で1ヶ月以上の連続運転)を、全く故障無く、実質的な摩耗も生じず、パスしています。


以下の3つのサイズが用意されています。

  • CF35 フランジ  40mmストローク
  • CF36 フランジ  80mmストローク
  • CF100 フランジ 160mmストローク
生産用MBE向けリニアシャッター(イラスト)
生産用MBE向けリニアシャッター(写真)

可動式フランジで、シャッターは、どの回転方向にも、取り付けが可能です。

オプション
  • 空圧リニアモーター
  • 空圧回転モーター
  • プログラマブル24Vサーボモーター

今での超高真空用リニアシャッターはベローズ、ボールベアリングまたは滑り面で可動部品のガイドを行ってきました。
これら全ての部品は根本的に摩耗の問題を抱えています。そのため、定期交換は避けられません。
ベローズは素材の疲労破壊で、突然、真空漏れが生じるのに対して、ボールベアリングはボール同士あるいは、ボールとケースの間の摩耗によって、徐々に状態が悪くなります。滑り軸受けでは寿命は、部品表面の状態に依存しており、表面処理や摩耗によって生じる塵に注意が必要です。
CreaTec社の新しいEDGテクノロジー(特許)は、滑り摩擦をなくしました。全ての可動部品の接触面は転がりによって支持されていて、ほぼ、メンテナンスのひつようがなくなりました。
この製品に、PEEK、真鍮やその他の超高真空で問題となる素材は一切使っていません。

装置は、1/100mmの精度で精巧に組み立てられる一方で、熱膨張や不均衡な荷重、コーティングあるいは塵に対して、あそびをのこして、許容量があります。

永久磁石は真空内で使用されていないので、高い温度でのベークアウトおよび運転が可能です。

EDGEは、超高真空で、正確でかつ、摩擦の非常に少ない動作を可能にするCreaTec社の開発した新しい技術基盤です。今後、EDGEを採用した製品がつぎつぎに実用化されるでしょう。

詳細のお問い合わせについては弊社までご連絡ください