太陽電池セルの研究開発から製造技術、検査技術の世界のトップ メーカーであるGP Solar GmbH社が開発した太陽電池ウェハ テクスチャエッチング液の添加剤(製品名AlkaTex Plus)を日本市場で販売開始しました。
単結晶セル製造ラインへのAlkaTex Plus導入に伴うアドバンテージについて
優位点
- テクスチャー エッチング時間が20～30分程度に短縮されます
- 処理槽のエッチング液の寿命が延び、交換回数が減少します
- テクスチャー回数は最大40回（155mm角ウェハで10,000枚以上）まで可能です
その結果、高いスループットが実現すると共に廃液の発生量が低減できます - IPA、KOH または NAOH、DIW などの薬品成分の消費量が減少します
- 各種ウェーハに対応したエッチング液の調整回数が減少し、工程監視の省力化が実現出来ます
- テクスチャー面が劇的に均一化され、反射率が減少します
- 完成セルの変換効率がアップします(0.05 - 0.1%アップ)
- 再現性と安定性の良い工程が実現します
- 工程での省力化、薬品成分消費の低減、及びエッチング液交換（廃液発生）回数の減少により、 コスト削減を実現いたします
- 太陽光発電業界におけるスタンダードとなりつつあります - 欧州、米国、台湾、及び中国における数十社にて現在使用中
不利点
- 対環境規制も含め、特にございません（AlkaTex Plusは無毒であり、廃液処理にも何ら影響はありません）
テクスチャーエッチングの課題
お客様でのKOH/IPA工程での課題
- 量産時、処理ロット間でのレシピ調整・変更に使えるのは僅かな時間のみ- 結果 多くのレシピを必要とする
- 表面の不均一性などが発生しがち（例：下記画像。クリックで拡大）
ウェハメーカーからのウェハをお客様でのKOH/IPA工程でエッチングした例
同じウェハメーカーのウェハにても異なるテクスチャー状態が発生する可能性あり
ウェハメーカーからのウェハをお客様でのKOH/IPA工程でエッチングした例
同じウェハメーカーからの同一ロットのウェハにても異なるテクスチャー状態が発生する可能性あり
AlkaTex Plus導入工程の効果
お客様でのKOH/IPA工程でのテクスチャー vs. AlkaTex Plus導入工程でのテクスチャー
- AlkaTex Plus導入工程では、ピラミッド（テクスチャー）サイズのコントロールが容易、かつKOH・IPA・DIWなどは従来通り調整可能です
- AlkaTex Plus導入工程では、テクスチャー不均一性の発生率は極めて低くなります
- AlkaTex Plus導入工程の場合、お客様での KOH / IPA 工程のレシピをわずかに調整することで、連続処理バッチ間にても極めて安定した再現性を実現できます
光学顕微鏡画像（クリックで拡大）
左画像：お客様でのKOH/IPA工程での状態の良いテクスチャー( ~6-8µm)
右画像：AlkaTex Plus導入工程での一般的なテクスチャー(~2-3µm)
アルカリテクスチャーでのSEM画像（クリックで拡大）
SEM画像 45°傾斜撮影 左画像1000x 右画像5000x
AlkaTex Plus導入工程での一般的なテクスチャー
アルカリテクスチャーでのSEM画像（クリックで拡大）
SEM画像(2500x) (前ページ画像と同じ材料でのウェハ)
左画像： お客様でのKOH/IPA工程でのテクスチャー
右画像： AlkaTex Plus導入工程での一般的なテクスチャー
お客様でのKOH/IPA工程でのテクスチャーとAlkaTex Plus導入工程でのテクスチャーにおける反射率（クリックで拡大）
ご提案
AlkaTex Plus導入による有効性のご確認方法について
手順
- お客様の生ウェハ約200枚（最低限）をお預かりする
- GP Solar社に送付し、GP Solar社にてAlkaTex Plus導入工程でエッチングを実施
- GP Solar社から処理済ウェハをお客様のもとにご返却
- お客様にて処理済ウェハのご評価をいただく
お問い合わせ先
株式会社ジャパンビジネスコンタクトグループ
〒108-0074 東京都港区高輪4-20-17 高輪ハイツ102
TEL:03-3446-1265 FAX:03-3446-1539
E-mail: http://www.jbc-group.com/japan/
