ＭＢＥルツボ交換搬送機構

従来ＭＢＥ装置の各種セルのルツボ交換はセルをチャンバーから取り外して行っており、セル装着後改めてチャンバーのベーキングを行い超高真空にする必要がありました。本ルツボ交換搬送機構は超高真空の状態でルツボ交換が出来る画期的な機構です。ロードロック室に保管された材料を充填したルツボを手動搬送機構によりルツボ交換を行うことが出来ます。これにより超高真空を破ることなく効率的にＭＢＥ装置を稼動することが出来ます。
クレアテック社は本機構をはじめ、各ユーザーの要求仕様に適合したＭＢＥ装置を提供しております。