真空蒸着源：蒸着セル（Effusion Cells）、クヌーセンセル（Knudsen-Cells（K-CELL））

クレアテック社は、超高真空下における各種の純分子、原子の蒸着に適応する広範囲な温度、形状のモデルの蒸着セル（effusion cells）を提供いたします。

これらの蒸着セルは、クラス10から100のクリーンルームで製作されています。長期間のご使用にも十分な信頼性を保つように、優れた材料で製作されています。標準の蒸着セルだけでなく、お客様の要求に柔軟に対応し、今までの豊富な製作実績から最適なセルを製作できます。

見積要件として
①取付けフランジサイズ　②マテリアル　③ルツボ容量　④水冷機構　要／不要　⑤シャッター機構　要／不要　⑥温度モニター付電源　要／不要
をご連絡下さい。

• Effusion Cells、Knudsen-Cells（K-CELL）日本語カタログ(PDF)

• Single filament effusion cell (SFC)
• Low temperature effusion cell (LTC)
• Cold lip effusion cell (CLC)
• Dual filament effusion cell (DFC)
• High temperature effusion cell (HTC)
• Near ambient temperature cell (NATC)
• Valved low temperature effusion cell (V-LTC)
• Cracker effusion cell (CRC)
• Valved cracker effusion cell (V-CRC)
• Atomic hydrogen source (HCL)
• Carbon effusion cell (EBC)
• Electron beam evaporator (EB-ST)

• TUBO、TUBO-e日本語カタログ(PDF)

各製品の特徴、仕様、オプション、カタログについては、各製品のリンク先でご覧になれます。詳細のお問い合わせについては弊社までご連絡ください。
（お問い合わせ先はhttp://www.jbc-group.com/japan/contact.html を参照ください）